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J-GLOBAL ID：200903089014631883

受光素子及びその製造方法

Inventor： 小松崎 順子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994154549
Publication number (International publication number)：1996023108
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】遮光膜が配置された受光素子において、遮光膜を形成しても受光感度が低下しない受光素子及びその製造方法を提供する。【構成】半導体基板に受光部及び信号処理部を形成し、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金により配線を形成し、該配線を陽極酸化により酸化アルミニウムにして着色する。さらに絶縁膜を介してアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金による遮光膜を形成し、該遮光膜を陽極酸化により酸化アルミニウムにして着色する。酸化アルミニウムは、容易にでき、光吸収膜になる。

Claim (excerpt)：

光を光電変換させる受光部と、前記受光部で生じた信号を処理する信号処理トランジスタと、金属による配線と、少なくとも前記トランジスタ上には遮光膜が配置された受光素子において、前記配線及び前記遮光膜はアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金であり、前記配線及び前記遮光膜の表面は酸化アルミニウムが配置されたことを特徴とする受光素子。

IPC (2)：

H01L 31/0232 ,  H01L 31/10

FI (2)：

H01L 31/02 D ,  H01L 31/10 A