Pat

J-GLOBAL ID：200903089041434410

耐腐食性多層金属構造を形成する方法

Inventor： アマール・エム・ユー・アーマッド ,  ハーサラン・エス・バティア ,  サトヤ・ピー・エス・バティア ,  ホーマズダイアー・エム・ダラル ,  ウィリアム・エイチ・プライス ,  サムパス・プルショサマン
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993309359
Publication number (International publication number)：1994232538
Application date： Dec. 09, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 多層薄膜金属構造を形成する改良された方法および腐食による欠陥の発生を防止する構造を提供する。【構成】 上昇された温度に保持された基板12の表面に蒸着により最終的な金層17′を堆積する種類の薄膜メタライゼーション・パッド構造である。上昇された温度に保持された基板の堆積した金を構造のエッジ上に拡散させ、銅界面でのエッジを含む露出エッジを被覆する。

Claim (excerpt)：

基板上に耐腐食性多層金属構造を形成する方法において、前記基板上へマスクの開口を介して第1の金属層を堆積する工程と、前記第1の金属層上へ前記マスク開口を介して第2の金属層を堆積する工程と、130°C〜200°Cの範囲の温度に前記基板を維持しながら、前記第1と第2の金属層を被覆するために前記マスク開口を介して金を堆積する工程と、を含むことを特徴とする基板上に耐腐食性多層金属構造を形成する方法。

IPC (6)：

H05K 3/24 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/52 ,  H01L 23/12 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特公昭53-010430
  
• 特開平3-060186