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J-GLOBAL ID：200903089067563227

TiO2をベースとするスパッタ材料を含有するスパッタターゲット並びに製造方法

Inventor： マルティン ヴァイゲルト ,  クリストフ ジーモンス ,  エッケハルト メンレ
Applicant, Patent owner： ヴェー ツェー ヘレーウス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (8)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009513595
Publication number (International publication number)：2009540112
Application date： Jun. 06, 2007
Publication date： Nov. 19, 2009
Summary：

本発明は、スパッタ材料がNb2O5 15〜60mol%を含有する、TiO2をベースとするスパッタ材料を含有するスパッタターゲットに関する。さらに、次の工程:・TiO2粉末及びNb2O5粉末を液状スリップ中で混合する工程 ・このスリップを噴霧造粒してTiO2:Nb2O5混合酸化物グラニュールにする工程 ・このグラニュールをスパッタターゲット基体上へプラズマ溶射する工程を有するスパッタターゲットの製造方法に関する。

Claim (excerpt)：

スパッタ材料がNb2O5 15〜60mol%を含有することを特徴とする、TiO2をベースとするスパッタ材料を含有するスパッタターゲット。

IPC (3)：

C23C 14/34 ,  C04B 41/87 ,  C04B 35/46

FI (3)：

C23C14/34 A ,  C04B41/87 K ,  C04B35/46 Z

F-Term (18)：

4G031AA11 ,  4G031AA14 ,  4G031AA27 ,  4G031BA02 ,  4G031BA15 ,  4G031CA08 ,  4G031GA01 ,  4G031GA02 ,  4G031GA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BA50 ,  4K029BC07 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC07 ,  4K029DC34