Pat

J-GLOBAL ID：200903089128503575

新規ジアミン及びそれらから製造された感光性ポリイミド

Inventor： ジェロルド シー ローゼンフェルド ,  イン オー チョイ ,  ディヴィッド ワイ タング ,  ジョン エイ ティーレル
Applicant, Patent owner： オクシデンタル ケミカル コーポレイション
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992145221
Publication number (International publication number)：1994041033
Application date： Jun. 05, 1992
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 マスクにあてた光で架橋して支持体上にパターンを形成しうる感光性ポリアミック酸及びポリイミドのための芳香族ジアミンを提供する。【構成】 式1例えば式10の芳香族ジアミン。(NH2)2A-Yn (1)(Aは1以上の芳香族環を有する基であり、Yは-COOR、-CONRR ′、又は-ORであり、Rは少くとも1個のオレフィン不飽和基を含む基であり、R′はH、アルキル、アリール又はRであり、nは1〜4であり、Y中オレフィン基は2又は3である。)並びに式(1)を二無水物と反応させて得られたポリアミック酸、当該ポリアミック酸からのポリイミドの製造方法、支持体、特に半導体材料にポリイミド塗膜を形成する方法。

Claim (excerpt)：

下記一般式で表わされる芳香族架橋性ジアミン。(NH2)2A-Yn(式中、Aは少くとも1個の芳香族環を有する基であり、各Yは独立して-COOR、-CONRR ′、及び-ORから成る群から選択され、Rは少くとも1個のオレフィン不飽和基を含む基であり、R′は水素、C25までのアルキル、アリール、又はRであり、nは1乃至4であり、各Y中のオレフィン基の数は、各Yが-COORの場合には少くとも3であり、その他の場合には少くとも2である。)

IPC (8)：

C07C229/54 ,  B05D 7/24 302 ,  C07C217/80 ,  C07C235/46 ,  C07C237/30 ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027