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J-GLOBAL ID：200903089130203651
走査型近接場光顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995020575
Publication number (International publication number)：1996220112
Application date： Feb. 08, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】光学顕微鏡観察とSNOM観察を行なえる走査型近接場光顕微鏡を提供する。【構成】支持部材12にはこれを支持する三本の支柱14が設けられている。支持部材12には中央にアーム16が設けられており、プローブ微動機構18が取り付けられている。プローブ微動機構18にはファイバープローブ20が取り付けられており、ファイバープローブ20は光電子増倍管22に連結されている。支持部材12には光源位置調整ステージ28を介してレーザー光源24が取り付けられ、その下に略L字形状の第一プリズムカップリング光学系32が配置されている。その反対側には第一プリズムカップリング光学系32と面対称な略L字形状の第二プリズムカップリング光学系38が設けられており、その上に光源24の射出光をモニターするためのフォトディテクター30が設けられている。
Claim (excerpt)：
光源と、光源の射出する光を光学的に透明な板状の試料台に載せられた試料に試料台の内部から全反射する角度で照射する照射光学系とを有し、これにより試料表面に局在するエバネッセント波が発生し、先端に微小な開口を有する光学的に透明なプローブを更に有し、プローブの先端がエバネッセント波の領域に侵入すると、エバネッセント波はプローブの内部を伝搬する伝搬光となり、この伝搬光を検出する光検出手段と、プローブを試料表面に沿って走査するプローブ微動機構と、少なくとも照射光学系とプローブ微動機構とプローブを支持する、倒立型光学顕微鏡のステージの上に載置される支持部材とを更に有している走査型近接場光顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 D
, G02B 21/00
