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J-GLOBAL ID：200903089161980850

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体

Inventor： 岩村 栄治 ,  武田 実佳子 ,  宮本 隆志 ,  赤理 孝一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 小谷 悦司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289718
Publication number (International publication number)：2000119843
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面平滑性に優れた膜が形成できるスパッタリング法によって、高硬度と優れた密着性を併せ持ったダイヤモンドライクカーボン膜を表面層とする硬質多層膜形成体を提供する。【解決手段】 スクラッチ試験において50N以上の密着性を示すと共に、硬度が40GPa以上であるダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、且つ最表面の粗さが中心線平均粗さRaで50nm以下である。

Claim (excerpt)：

スクラッチ試験において50N以上の密着性を示すと共に、硬度が40GPa以上であるダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、且つ最表面の粗さが中心線平均粗さRaで50nm以下であることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14

FI (3)：

C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 N ,  B23B 27/14 A

F-Term (21)：

3C046FF02 ,  3C046FF17 ,  3C046FF20 ,  3C046FF38 ,  3C046FF44 ,  3C046FF45 ,  3C046FF48 ,  4K029BA02 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA34 ,  4K029BA55 ,  4K029BA57 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BD03 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC39