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J-GLOBAL ID:200903089167606691

表面弾性波素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993013006
Publication number (International publication number):1994232677
Application date: Jan. 29, 1993
Publication date: Aug. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】 素子の歩留りを高めかつ高周波領域において高い電気機械的結合係数を有する表面弾性波素子を得ることである。【構成】 本発明に従う表面弾性波素子は、Si基板1上に、ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の少なくともいずれかからなる第1の層2と、金属酸化物からなり、接地のために設けられる第4の層3と、圧電体からなる第2の層4と、電気-機械係数を行なうための電極を構成する第3の層5とが積層されて構成される。
Claim (excerpt):
ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の少なくともいずれかからなる第1の層と、圧電体からなる第2の層と、電気-機械変換を行なうための電極を構成する第3の層と、接地のために設けられる第4の層とが積層された表面弾性波素子において、前記第4の層が導電性酸化物から形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。
IPC (2):
H03H 9/145 ,  H03H 9/64

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