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J-GLOBAL ID：200903089208276987

光学基板及びその製造方法

Inventor： 清水 敦 ,  矢尾 敦
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000001913
Publication number (International publication number)：2001194508
Application date： Jan. 07, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 製造歩留りを低下させることなく、マイクロレンズアレイ基板のスタック厚を薄くする。【解決手段】 スタンパ24と紫外線照射を用いてベースガラス22の上にレンズ樹脂層23を成形した後、レンズ樹脂層23の上に封止樹脂層27となる紫外線硬化型樹脂を滴下する。一方、カバーガラス28の内面には、スピナを用いて未硬化もしくは半硬化の樹脂を塗布することにより保護膜29を形成しておく。ついで、ベースガラス22の上方にカバーガラス28を重ねて押圧し、保護膜29とレンズ樹脂層23との間に紫外線硬化型樹脂を挟み込んで拡げ、封止樹脂層27を形成する。この後、封止樹脂層27に紫外線を照射して硬化させると共に保護膜29も完全硬化させ、マイクロレンズアレイ基板のウエハ30を作製する。ついで、ウエハ30の両面を研磨して平滑に仕上げる。

Claim (excerpt)：

第1の基材の上方に光学素子アレイ層を積層し、当該光学素子アレイ層の上方に少なくとも光学素子アレイ層の上方領域を平坦化する封止樹脂層を積層し、当該封止樹脂層の表面に前記光学素子アレイ層を保護するための保護膜を積層し、当該保護膜の上に第2の基材を積層したことを特徴とする光学基板。

IPC (4)：

G02B 3/00 ,  B29D 11/00 ,  G02F 1/1335 ,  B29K105:32

FI (4)：

G02B 3/00 A ,  B29D 11/00 ,  G02F 1/1335 ,  B29K105:32

F-Term (23)：

2H091FA21Y ,  2H091FA29Y ,  2H091FC15 ,  2H091FC19 ,  2H091FC23 ,  2H091FC29 ,  2H091FD06 ,  2H091GA16 ,  2H091KA01 ,  2H091LA02 ,  2H091LA11 ,  2H091LA12 ,  4F213AA44 ,  4F213AD04 ,  4F213AG01 ,  4F213AG03 ,  4F213AH74 ,  4F213WA02 ,  4F213WA53 ,  4F213WA58 ,  4F213WA86 ,  4F213WF27 ,  4F213WF29