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J-GLOBAL ID:200903089259479106

超純水製造装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 重野 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996211190
Publication number (International publication number):1997155371
Application date: Nov. 02, 1984
Publication date: Jun. 17, 1997
Summary:
【要約】【課題】 超純水製造システムの微生物の増殖によるトラブルを防止する。【解決手段】 膜分離装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水製造システムBに、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽13と、その処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器14とを有する生物処理手段Fを設ける。【効果】 生物処理手段においては、エネルギー源及び栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、純水に含まれていた微量のTOC成分及び/又はリン成分がほぼ完全に除去される。得られる超純水は、微生物の増殖のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
Claim (excerpt):
膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水処理手段、及び微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段、を備えてなる超純水製造装置。
IPC (5):
C02F 3/02 ,  C02F 1/00 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 3/34
FI (5):
C02F 3/02 A ,  C02F 1/00 B ,  C02F 1/42 A ,  C02F 1/44 J ,  C02F 3/34 Z

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