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J-GLOBAL ID：200903089274269851

局部エッチング装置の放電管及びテーパ型放電管を用いた局部エッチング装置

Inventor： 柳澤 道彦 ,  奥谷 忠義
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 塚原 孝和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000056377
Publication number (International publication number)：2001244249
Application date： Mar. 01, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 プラズマ生成初期時や発生後の生じるマイクロ波Mの定在波の変動に対応して、安定なプラズマを短時間で生成すると共に、プラズマの安定性を維持するようにして、ワークのスループット及び歩留まりの向上を図ることができる局部エッチング装置の放電管及びテーパ型放電管を用いた局部エッチング装置を提供する【解決手段】 マイクロ波発振器1と、導波管2と、導波管2を伝搬するマイクロ波Mを反射して定在波を生成すると共にこの定在波の最大電界強度位置部分を所定位置に位置決めするためのプランジャ3と、導波管2に挿通され且つ導波管2内に位置する放電部42が活性種Gを噴射する開口41a側に向かって広がるテーパ形状に形成された石英放電管4と、開口41aをシリコンの表面上で相対的に走査させるためのX-Y駆動機構6とを備えている。好ましくは、放電部42のテーパ角度を、1 ゚〜10 ゚に設定する。

Claim (excerpt)：

マイクロ波発振器から導波管内に発振されたマイクロ波をプランジャで反射させてマイクロ波の定在波を生成し、該定在波中に放電管を位置決めして、当該放電管内のガスをプラズマ化させ、当該プラズマで生成された活性種を上記放電管の開口からワーク表面に噴射してワークを局部的にエッチングする局部エッチング装置の放電管であって、上記導波管内に位置する放電部位を、上記放電管の開口側に向かって広がるテーパ形状に形成した、ことを特徴とする局部エッチング装置の放電管。

IPC (5)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H05B 41/24 ,  H05H 1/46 ,  H05H 1/24

FI (5)：

C23F 4/00 D ,  H05B 41/24 N ,  H05H 1/46 B ,  H05H 1/24 ,  H01L 21/302 D

F-Term (24)：

3K072AA17 ,  3K072GA08 ,  4K057DA20 ,  4K057DB06 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE14 ,  4K057DM13 ,  4K057DM29 ,  4K057DM37 ,  4K057DM39 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  5F004AA01 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB22 ,  5F004CA02 ,  5F004CA05 ,  5F004DA01 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26