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J-GLOBAL ID：200903089286623472
冷凍チャックテーブル
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995288183
Publication number (International publication number)：1997106966
Application date： Oct. 11, 1995
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ダイサー等の冷凍チャックテーブルにおいて、冷却効率を向上させるために少なくともテーブル本体とサーモモジュールとの間に隙間が生じないようにする。【解決手段】 半導体ウェーハ等の被加工物を凍結保持する冷凍チャックテーブルにおいて、この冷凍チャックテーブルは被加工物を保持するテーブル本体と、ペルチェ素子等からなるサーモモジュールと、このサーモモジュールの放熱側を冷却する冷却手段とから構成されており、冷却効率を向上させるために前記テーブル本体とサーモモジュールとの間に伝熱性ラバーを介在させる。更に、サーモモジュールと冷却手段との間にも伝熱性ラバーを介在させる。
Claim (excerpt)：
半導体ウェーハ等の被加工物を凍結保持する冷凍チャックテーブルにおいて、この冷凍チャックテーブルは被加工物を保持するテーブル本体と、ペルチェ素子等からなるサーモモジュールと、このサーモモジュールの放熱側を冷却する冷却手段とから構成されており、冷却効率を向上させるために前記テーブル本体とサーモモジュールとの間に伝熱性ラバーを介在させたことを特徴とする冷凍チャックテーブル。
IPC (3)：
H01L 21/301
, B23Q 3/08
, H01L 21/68
H01L 21/78 M
, B23Q 3/08 Z
, H01L 21/68 N
