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J-GLOBAL ID：200903089289831378

画像データ欠陥検出装置

Inventor： 井上 雅基
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991268772
Publication number (International publication number)：1993082618
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 大量の判定データを必要とせず、しかも画像データの位置ズレによる誤検出を防止することができる画像データ欠陥検出装置を提供する。【構成】 比較回路4は基準濃淡画像データ記憶回路1からの画像データと入力装置3からの画像データとを各画素毎に比較し、差画像データを二値化回路5を介してラベリング回路6に出力する。ラベリング回路6は欠陥候補の画素を抽出し、その位置データをラベリング画像データとして分散値選択回路10に出力する。一方、記憶回路7に入力された画像データは分散値計算回路8で分散値が計算される。分散値選択回路10はラベリング画像データに基づき欠陥候補とされた画素についての分散値を選択し、判定回路12は選択された分散値についてレジスタ11に記憶された欠陥範囲内にあるかどうかを判断する。

Claim (excerpt)：

基準画像データの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明るさの変化の度合を示す分散値を計算する第1の分散値計算手段と、該分散値を基に画像を欠陥と判断する分散値の上限と下限とを記憶する記憶手段と、被検査パターンの画像データの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明るさの変化の度合を示す分散値を計算する第2の分散値計算手段と、前記被検査パターンの分散値が前記記憶手段に記憶した分散値の上限と下限の範囲内にあるか否かを判断する判断手段とを備えたことを特徴とする画像データ欠陥検出装置。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 330 ,  G06F 15/70 460