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J-GLOBAL ID：200903089293760108

感光性樹脂組成物、その積層体、その硬化物及び該組成物を用いたパターン形成方法

Inventor： 本田 那央 ,  浦田 昌彦
Applicant, Patent owner： 日本化薬株式会社 ,  マイクロケム コーポレイション
Agent (4)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  亀岡 幹生 ,  安藤 克則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006194587
Publication number (International publication number)：2008020838
Application date： Jul. 14, 2006
Publication date： Jan. 31, 2008
Summary：

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度である感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】スルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤(A)と下記一般式(1)で表される多官能エポキシ樹脂(B)(式中R1、R2はそれぞれ独立に水素原子、またはメチル基を示し、t及びu並びにvはそれぞれ平均値であり独立に1以上の実数を表し、その和は3〜30の実数を表す)を含有してなる感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

スルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤(A)と下記一般式(1)で表される多官能エポキシ樹脂(B)

IPC (4)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  C08G 59/68

FI (4)：

G03F7/029 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/004 512 ,  C08G59/68

F-Term (18)：

2H025AA03 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BJ04 ,  2H025CA48 ,  2H025CB30 ,  2H025EA08 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  4J036AD08 ,  4J036GA03 ,  4J036GA22 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

• USP5502083
  
• USP5264325
  
• USP6368769 B1
  
• USP5102772
  
• USP4882245
  
• USP5026624
  
• USP5278010
  
• USP5304457
  
• USP4256828
  
• USP5726216
  

Cited by examiner (1)

• 予約の確保と解除の方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-050287   Applicant：株式会社ソリトンシステムズ