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J-GLOBAL ID：200903089323249977

クリーンルーム内の気流調整装置及び運転停止後の清浄度維持装置

Inventor： 本田 重夫 ,  籠山 宏 ,  阿部 宏昭 ,  磯野 一智
Applicant, Patent owner： 株式会社朝日工業社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993042806
Publication number (International publication number)：1994257813
Application date： Mar. 03, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 クリーンルーム内の気流分布を調整でき、また送風ファンの停止後でもクリーンルームの清浄度を維持できることを可能とする。【構成】 クリーンルーム1の上部にフィルター3を介して給気チャンバー4を設け、クリーンルーム1の下部に、床面となる多数のグレーチング5を設けると共にその下方に還気チャンバー6を形成し、上記給気チャンバー4からフィルター3を介してクリーンルーム1に流入し、グレーチング5を介して還気チャンバー6に流れるクリーンルーム1内の気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置において、各グレーチング5の下方に設けられそのグレーチング5の開口の開度を調整する可動シャッター16と、各グレーチング5の開口に臨んで設けられた風速計18と、その風速計18の検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを駆動する駆動手段17とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

クリーンルームの上部にフィルターを介して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部に、床面となる多数のグレーチングを設けると共にその下方に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーからフィルターを介してクリーンルームに流入し、グレーチングを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム内の気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置において、各グレーチングの下方に設けられそのグレーチングの開口の開度を調整する可動シャッターと、各グレーチングの開口に臨んで設けられた風速計と、その風速計の検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とするクリーンルーム内の気流調整装置。

IPC (3)：

F24F 7/06 ,  F24F 13/068 ,  F24F 13/12