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J-GLOBAL ID：200903089323760523
再剥離型粘着性ポリマー
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991192372
Publication number (International publication number)：1993032946
Application date： Jul. 31, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【構成】ウェハ貼着用粘着シートの粘着剤層として、ポリマーの側鎖または主鎖が、放射線重合性官能基を有する多官能性モノマーまたはオリゴマーと結合されてなり、該放射線重合性官能基が炭素-炭素二重結合を2個以上有し、放射線照射による体積収縮率が0.5%以上である粘着性ポリマーを用いる。【効果】貼付作業性および水平方向からの応力に対する抵抗性に優れたウェハ貼着用粘着シートが得られる。このような粘着シートは糊残りの発生を防止することができ、さらに、基材から粘着剤層に移行する添加剤に対し優れた耐久性を有する。
Claim (excerpt)：
ポリマーの側鎖または主鎖が、放射線重合性官能基を有する多官能性モノマーまたはオリゴマーと結合されてなり、該放射線重合性官能基が炭素-炭素二重結合を2個以上有し、放射線照射による体積収縮率が0.5%以上であることを特徴とする再剥離型粘着性ポリマー。
IPC (4)：
C09J133/06 JDD
, H01L 21/52
, H01L 21/68
, H01L 21/78
