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J-GLOBAL ID：200903089351458000

カンチレバー走査プローブ顕微鏡

Inventor： ヘルマン ルドルフ ,  石田 耕三 ,  岸本 俊彦 ,  冨田 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996051019
Publication number (International publication number)：1997218211
Application date： Feb. 13, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 所定の分解能を維持しつつ比較的短時間で走査することができるカンチレバー走査プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 複数のカンチレバー8を縦横に設け、これらのカンチレバー8のそれぞれ揺動端の下面に尖端部10を形成するとともに、カンチレバー8の揺動端側の上面に前記尖端部10に対応するようにしてミラー11を設け、前記尖端部側を試料1の検査対象面に当接させるように載置した状態で、前記ミラー11に対して、干渉計に接続された一方の光ファイバ12から光を照射し、そのときの反射光を前記干渉計に接続された他方の光ファイバ13に入射させるようにした。

Claim (excerpt)：

複数のカンチレバーを縦横に設け、これらのカンチレバーのそれぞれ揺動端の下面に尖端部を形成するとともに、カンチレバーの揺動端側の上面に前記尖端部に対応するようにしてミラーを設け、前記尖端部側を試料の検査対象面に当接させるように載置した状態で、前記ミラーに対して、干渉計に接続された一方の光ファイバから光を照射し、そのときの反射光を前記干渉計に接続された他方の光ファイバに入射させるようにしたことを特徴とするカンチレバー走査プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 21/66 J