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J-GLOBAL ID：200903089374718203
シーケンス制御装置およびそれを用いた半導体製造装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993007147
Publication number (International publication number)：1994216114
Application date： Jan. 20, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は、シーケンス制御装置およびそれを用いた半導体製造装置において、シーケンスを管理および作成する上で容易な構造とすることにより、負担の軽減と同時に、生産性や稼働率の向上を図ることを最も主要な特徴とする。【構成】たとえば、時間管理が可能なサブシーケンスを親となるシーケンスに組み込むことができる処理プログラム「EDiT」を、第2の記憶部27内に用意する。プロセスプログラムを作成する際に、この処理プログラム「EDiT」を中央処理ユニット21で読み出して起動させる。そして、シーケンスの組み直しなど、元のシーケンスを変更することなく、設定されるサブシーケンスを親となるシーケンスの下に組み込むことで、同一機能の複数のシーケンスを1つにまとめて管理できるプロセスプログラムを実現する構成となっている。
Claim (excerpt)：
1サイクルが複数個に分割されたシーケンスから構成され、かつ、前記シーケンスのいくつかは時間によって管理されるシーケンス制御装置において、前記シーケンスを管理する管理手段と、この管理手段で管理されるシーケンスの少なくとも1つに対し、設定可能な固有の時間を有するとともに、そのシーケンス内にて複数の制御機器の制御を行わしめる手段を備えるサブシーケンスを組み込む処理手段と、この処理手段で組み込まれる前記サブシーケンスの、シーケンス時間を計数制御する演算手段とを具備したことを特徴とするシーケンス制御装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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