ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998229791
Publication number (International publication number)：2000066396
Application date： Aug. 14, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】深紫外線、特にArFエキシマレーザー光の露光により、残膜率、レジストプロファイル、解像力、密着性が優れ、かつドライエッチング耐性にも優れ、しかも現像欠陥の問題のないレジストを与えるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線により酸を発生する化合物、有橋環式炭化水素アルコール、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)有橋環式炭化水素アルコール、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

F-Term (12)：

2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025CB06 , 2H025CB52 , 2H025CC04 , 2H025CC20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-086093 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-226175 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-352621 Applicant：ジェイエスアール株式会社

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