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J-GLOBAL ID：200903089401002746
薄膜フィルム圧着装置及び圧着方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993116985
Publication number (International publication number)：1994333808
Application date： May. 19, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、ベースフィルム上に薄膜を積層した薄膜フィルムを基板に圧着し薄膜を転写する時、基板と薄膜フィルムとの間に気泡混入がなく、構造や動作が簡単で安価な装置で、短い処理時間で行うことを目的とする。【構成】 対置する一対の圧着台の一方に基板を、もう一方の台に薄膜フィルムとその周囲を少なくとも高さが薄膜フィルム接着面より高くたシール部材で閉じて囲い、そのシール部材の内側を真空又は減圧する手段を具備した装置において、シール部材又はシール部材と基板を圧着台で挟み、かつ薄膜フィルム接着面と基板表面は接触しない程度に圧着台を近接させた状態で、シール部材で囲んだ閉領域を真空又は減圧した後、圧着台に圧力をかけてシール部材を弾性変形させて薄膜フィルムを基板に圧着させる。
Claim (excerpt)：
ベースフィルム上に薄膜を積層した薄膜フィルムと薄膜を転写する基板を対置する一対の圧着台の間に設置し、その隙間を真空又は減圧し圧着する薄膜フィルム圧着装置において、対置する一対の圧着台の一方に基板を、もう一方の台に薄膜フィルムとその周囲を少なくとも高さが薄膜フィルム接着面より高くしたシール部材で閉じて囲い、そのシール部材の内側を真空又は減圧する手段を具備したことを特徴とする薄膜フィルム圧着装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, B32B 31/20
, G03F 7/16
