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J-GLOBAL ID：200903089477890268

原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法

Inventor： 柴田 元司 ,  加道 博行 ,  任田 隆夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991175431
Publication number (International publication number)：1993018744
Application date： Jul. 16, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 深針の巨視的な形状を最適化し、さらに先端部が小さな曲率半径の深針を有する原子間力顕微鏡用の薄膜のカンチレバーの製造方法を提供する。【構成】 シリコン基板1に、シリコンと合金を形成する金の薄膜2を形成し、続いて、珪素化合物を含む雰囲気中でシリコン基板を合金の融点以上に加熱してシリコン柱状突起物4を結晶成長させる。さらにシリコン柱状突起物4をエッチングにより先端部を先鋭化して探針5を製作する。次にシリコン基板1の両面に厚さ1. 5μmの酸化膜6、7を形成する。酸化膜6、7をエッチングによる微細加工を用いて探針を有するカンチレバー8を得る。

Claim (excerpt)：

シリコン基板表面の所定部分に、シリコンと合金を形成する金属を接触させ、珪素化合物を含む雰囲気中で前記シリコン基板を前記合金の融点以上に加熱し、シリコンの柱状突起物を結晶成長させ、さらに前記合金を取り除いた前記柱状突起物の先端部分を先鋭化する第1の工程と、前記シリコン基板表面を酸化して酸化膜を形成し、さらに前記酸化膜をフォトエッチングにより、前記柱状突起物が端部に形成された凸状端部を有する平板形状に微細加工し、少なくとも前記酸化膜凸状端部の下部のシリコンを除去することにより、前記突起物が形成された凸状端部を自由端にする第2の工程からなる原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28