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J-GLOBAL ID：200903089490041326

酸化チタン膜の製造方法

Inventor： 林 紅 ,  福井 俊巳 ,  朝隈 直子
Applicant, Patent owner： 株式会社関西新技術研究所
Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999089017
Publication number (International publication number)：2000282244
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 10, 2000
Summary：

【要約】【課題】 加熱処理を行わなくても結晶化された酸化チタンの薄膜を得ることができ、かつ、アナタースのほか、ルチルやアナタースとルチルとの混合形の薄膜を任意に得ることができる方法を提供する。【手段】 チタンアルコキシドを含む溶液を加水分解させて酸化チタン前駆体塗布液を調製する際に、溶液中に安定化剤を添加しないようにし、また溶剤として低級アルコールを用いるようにする。前駆体塗布液を基板の表面に塗布して成膜した後、薄膜に対し波長が360nm以下である紫外光を照射し、その紫外光の照射エネルギー密度を調節することにより薄膜をアナタース、アナタースとルチルとの混合形およびルチルのうちのいずれかに任意に結晶化させる。

Claim (excerpt)：

チタンのアルコキシドまたは金属塩を含む溶液を加水分解させて酸化チタン前駆体塗布液を調製し、その前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜を結晶化させる酸化チタン膜の製造方法において、前記酸化チタン前駆体塗布液を調製する際に、加水分解されるべき溶液中に安定化剤を添加しないようにして、前記被塗布物の表面に形成された薄膜に対し波長が360nm以下である紫外光を照射し、その際の紫外光の照射エネルギー密度を調節することにより薄膜をアナタース、アナタースとルチルとの混合形およびルチルのうちのいずれかに任意に結晶化させることを特徴とする酸化チタン膜の製造方法。

IPC (3)：

C23C 18/14 ,  B01J 19/12 ,  C01G 23/053

FI (3)：

C23C 18/14 ,  B01J 19/12 Z ,  C01G 23/053

F-Term (20)：

4G047CA02 ,  4G047CB06 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G075AA24 ,  4G075AA61 ,  4G075BA05 ,  4G075CA02 ,  4G075CA33 ,  4G075CA36 ,  4G075CA51 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA13 ,  4K022BA15 ,  4K022BA22 ,  4K022BA33 ,  4K022CA12 ,  4K022DA08 ,  4K022DB30