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J-GLOBAL ID：200903089532949072

液晶表示装置

Inventor： 小林 敬三
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992303424
Publication number (International publication number)：1994148683
Application date： Nov. 13, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】応答速度の大きな液晶表示装置を得るため、Al又はAl合金を用いかつこれらの金属によってひき起される問題点を全て解決する構造を提供する。【構成】AlまたはAl合金をTa,Ti,CrあるいはMo等で挟み込んだ3層構造とする。さらにスルーホール部の周辺及び3層配線の側壁部をシリコン窒化膜で被覆し、水分の浸透を抑える。

Claim (excerpt)：

全ての金属配線層が、AlまたはAl合金を中間層とし、該中間層の上層及び下層金属を同一金属で狭み込んだ三層金属配線であることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/784

FI (2)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-253342
  
• 特開平4-172325
  
• 特開平3-072318