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J-GLOBAL ID：200903089538592893

感光性樹脂組成物とそれを用いた電子装置の製法

Inventor： 前川 康成 ,  三輪 崇夫 ,  岡部 義昭 ,  石田 美奈 ,  平野 利則
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994281941
Publication number (International publication number)：1996146608
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【構成】電磁波の照射により塩基を発生する物質と前記塩基により塩基を発生する物質および前記塩基により極性が変化する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【効果】増幅反応を利用した、水系溶剤で現像可能なポジ型感光性樹脂組成物は、環境汚染や作業環境に支障を与えることがなく、高感度なレリーフパターンを与える。

Claim (excerpt)：

電磁波の照射により塩基を発生する物質と前記塩基により塩基を発生する物質および前記塩基により極性が変化する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312