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J-GLOBAL ID：200903089541534845

被測定物の面形状測定方法およびその装置

Inventor： 壹岐 誠 ,  伊藤 孝之 ,  大野 政博 ,  伊藤 拓 ,  荒木 清
Applicant, Patent owner： 旭光学工業株式会社
Agent (1)： 野田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993346210
Publication number (International publication number)：1994241743
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被測定物の非球面形状を簡便に測定できるとともに、装置の小型化を可能にする。【構成】 被測定物10の非球面状被検面10aを測定する原器用参照面11aを有する参照部材11を備え、被測定物10の被検面10aと参照部材11の参照面11aとを向かい合わせた状態で被検面10aからの反射光と参照面11aからの反射光とを重ね合わせて得られる干渉縞から被検面10aの形状を測定し評価する。

Claim (excerpt)：

被測定物の非球面状被検面を測定する原器用参照面を有する参照部材を備え、前記被測定物の被検面と前記参照部材の参照面とを向かい合わせた状態で前記被検面からの反射光と前記参照面からの反射光とを重ね合わせて得られる干渉縞から被検面の形状を測定するようにした、ことを特徴とする被測定物の面形状測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平2-249938
  
• 特開昭54-068668
  
• 特開昭59-018434
  

Cited by examiner (3)

• 特開平2-249938
  
• 特開昭54-068668
  
• 特開昭59-018434