力学量センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992274530
Publication number (International publication number)：1994123632
Application date： Oct. 13, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】新規な構造の力学量センサを提供することにある。【構成】基板1上には固定部2,3,4,5が立設され、この固定部2,3,4,5からL字型の梁6,7,8,9が延びている。その梁6,7,8,9の他端には方形の錘10が連結支持されている。そして、このL字型の梁6,7,8,9で形成される面が錘10の可動面となっている。錘10の4辺には棒状の電極11,12,13,14が形成されている。又、基板1上には電極11,12,13,14の間に棒状の電極15,16,17,18が対向するように配置されている。そして、対向電極13,17及び14,18への電圧印加により錘10が励振するとともに、対向電極11,15及び12,16により回転角速度Ωの印加に伴う錘10の動きが検出される。

Claim (excerpt)：

錘をL字型の梁で支持して、同L字型の梁で形成される面を錘の可動面とし、力学量の作用に伴う錘の動きを検出するようにしたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平4-232875
特開平4-232875
特開平4-256864

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