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J-GLOBAL ID：200903089577914580

アクティブマトリクス基板および液晶表示装置

Inventor： 野中 正信 ,  米倉 利昌
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000393369
Publication number (International publication number)：2002196699
Application date： Dec. 25, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 周辺回路実装時のストレスによる導電膜の剥がれや削り取られを防止するアクティブマトリクス基板を提供する。【解決手段】 信号線11および走査線の給電電極を構成する導電膜を窒化シリコンの絶縁保護膜35または酸化シリコンの層間絶縁膜34および窒化シリコンの絶縁保護膜35によって覆う。給電電極領域には複数のコンタクトホ-ル35aまたはコンタクトホールを形成する。これらコンタクトホ-ルを通して導電膜と接続する電極膜36を積層形成する。導電膜にアルミニウムを用いても、周辺回路実装時のストレスによる導電膜のアルミニウムの剥がれや削り取られを防止する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に互いに絶縁して交差して配設された複数本の信号線および走査線と、これら信号線および走査線に接続されたスイッチング素子と、このスイッチング素子により制御される画素電極とを備え、前記信号線および走査線は、導電膜、この導電膜を覆う絶縁層、この絶縁層に形成された複数のコンタクトホ-ル、および、前記絶縁層に積層形成され前記複数のコンタクトホ-ルを通して前記導電膜と接続される電極膜を有することを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (3)：

G09F 9/30 336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 348

FI (3)：

G09F 9/30 336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 348 A

F-Term (41)：

2H092GA05 ,  2H092GA34 ,  2H092GA60 ,  2H092HA04 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092KB04 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  5C094AA32 ,  5C094AA36 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DB01 ,  5C094DB02 ,  5C094DB04 ,  5C094EA05 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5G435AA07 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435EE32 ,  5G435EE41 ,  5G435HH12 ,  5G435HH14 ,  5G435KK05