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J-GLOBAL ID：200903089580394830
ポリマコア光導波路およびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993239747
Publication number (International publication number)：1995092337
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：
【要約】【目的】光の伝搬部分であるコア用ポリマ中にクラックのない均一なポリマからなるポリマコア光導波路の提供。【構成】基板と、該基板の表面に形成された屈折率がn<SB>b </SB>で所望厚さのSiOxNyHz膜より成るバッファ層と、該バッファ層の上に形成された屈折率がn<SB>w</SB>(n<SB>w </SB>>n<SB>b </SB>)の略矩形状のポリマ材料より成るコアと、該コア表面を覆うように設けられた屈折率がn<SB>c </SB>(n<SB>c </SB><n<SB>w </SB>)のクラッド層から構成されていることを特徴とするポリマコア光導波路。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板の表面に形成された屈折率がn<SB>b </SB>で所望厚さのSiOxNyHz膜より成るバッファ層と、該バッファ層の上に形成された屈折率がn<SB>w </SB>(n<SB>w</SB>>n<SB>b </SB>)の略矩形状のポリマ材料より成るコアと、該コア表面を覆うように設けられた屈折率がn<SB>c </SB>(n<SB>c </SB><n<SB>w </SB>)のクラッド層から構成されていることを特徴とするポリマコア光導波路。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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