外観検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070096
Publication number (International publication number)：2000266691
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明は、被検物に対する焦点合わせに要する時間が外観検査の時間に影響を与えない。【解決手段】基板パレット9上に載置された複数のプリント基板8を外観検査する前の基板搬送部1で搬送中に、プリント基板8におけるサンプリングポイントAでの高さ方向の変位情報を保存し、各プリント基板8を検査位置に持ち込まれるまでの間に予め保存した各プリント基板8におけるサンプリングポイントAでの高さ方向の変位情報に基づいて撮像光学系14をZ軸方向に制御して焦点位置を保つ。

Claim (excerpt)：

検査部に搬送された被検体と撮像光学系を焦点方向に相対的に移動させて焦点合わせを行い、前記撮像光学系を用いて前記被検体の外観検査を行う外観検査装置において、前記被検体を前記検査部に搬送するまでに、前記被検体上の基準面の変位量を検出する高さ検出手段と、前記被検体の外観検査を行うに際し、前記高さ検出手段により検出された前記高さ変位情報に基づいて前記撮像光学系と前記被検体とを焦点方向に相対的に移動させて焦点合わせを行う焦点合わせ手段と、を具備したことを特徴とする外観検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/956 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01B 11/30

FI (4)：

G01N 21/956 B , G01B 11/00 B , G01B 11/30 A , G01B 11/24 K

F-Term (34)：

2F065AA06 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065DD10 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ07 , 2F065JJ25 , 2F065PP04 , 2F065PP15 , 2F065PP22 , 2F065QQ24 , 2F065UU07 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051AC02 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CD04 , 2G051DA06 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02

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