ダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢野正行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995194235
Publication number (International publication number)：1997020590
Application date： Jul. 05, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：

【要約】【目的】刃先形状を保ちつつ、超硬基材表面に適正サイズの凹凸を形成し、その上にダイヤモンド膜を気相合成することにより、膜の密着性に優れたダイヤモンド膜付き超硬基材を提供する。【構成】超硬基材を酸性水溶液中で電解エッチングすることにより基材表面に凹凸を形成した後、その基材表面に気相法によりダイヤモンド膜を形成する方法において、単位面積における基材がエッチングされる速度が、深さ方向で、0.2μm/min.以上1.5μm/min.以下であることを特徴とするダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法。

Claim (excerpt)：

超硬基材を酸性水溶液中で電解エッチングすることにより基材表面に凹凸を形成した後、その基材表面に気相法によりダイヤモンド膜を形成する方法において、単位面積における基材がエッチングされる速度が、深さ方向で、0.2μm/min.以上1.5μm/min.以下であることを特徴とするダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法。

IPC (6)：

C30B 29/04 , B23P 15/28 , C23C 16/02 , C23C 16/26 , C25F 3/02 , B23B 27/14

FI (6)：

C30B 29/04 Q , B23P 15/28 A , C23C 16/02 , C23C 16/26 , C25F 3/02 B , B23B 27/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ダイヤモンド類被覆部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-191142 Applicant：出光石油化学株式会社
特開平3-107460
特開平3-183774

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