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J-GLOBAL ID：200903089595217721

静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド

Inventor： 一色 海平
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 稲元 富保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000169978
Publication number (International publication number)：2001347658
Application date： Jun. 07, 2000
Publication date： Dec. 18, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 振動板に所定のギャップを置いて対向させて電極基板を形成し、振動板と電極間に電圧を印加することで、静電力によって振動板を撓ませる静電型アクチュエータにおいて、安価で高密度が可能な静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに静電型吐出ヘッドの提供。【解決手段】振動板基板1と電極基板2とを接着剤を用いないで直接接合し、且つ、ギャップを形成するためのシリコン酸化膜11を電極基板2側に設け、振動板基板側の接合面が平面になっている。

Claim (excerpt)：

振動板を形成した振動板基板と、個別電極を形成した電極基板とを絶縁膜となるシリコン酸化膜によってギャップを形成して接合し、前記電極と振動板との間に電圧を印加することで前記振動板が変形する静電型アクチュエータにおいて、前記振動板基板と前記電極基板とを接着剤を用いないで直接接合し、且つ、前記ギャップを形成するためのシリコン酸化膜を前記電極基板側に設け、前記振動板基板側の接合面が平面になっていることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (5)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (4)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

F-Term (20)：

2C057AF36 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP26 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP42 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AP59 ,  2C057AP61 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15