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J-GLOBAL ID：200903089608259771

オーミック電極

Inventor： 和田 守夫
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993233118
Publication number (International publication number)：1995094709
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 接触抵抗を大幅に低減することができる。【構成】 半導体素子のオーミック電極であって、p形InxGa1-xAsyP1-y(x=0〜1、y=0〜1)層と、このp形InxGa1-xAsyP1-y層上に積層されたp形高キャリヤ濃度InAszP1-z(z>0)層と、このInAszP1-z層上に積層された電極金属、を有することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

半導体素子のオーミック電極であって、p形InxGa1-xAsyP1-y(x=0〜1、y=0〜1)層と、このp形InxGa1-xAsyP1-y層上に積層されたp形高キャリヤ濃度InAszP1-z(z>0)層と、このInAszP1-z層上に積層された電極金属、を有することを特徴としたオーミック電極。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-183176