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J-GLOBAL ID：200903089638632728

膜厚測定方法及びその装置

Inventor： 岡安 裕 ,  長坂 昭吾
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001356284
Publication number (International publication number)：2003156314
Application date： Nov. 21, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】 簡易な方法により、より精度よく膜厚測定を行うことができる膜厚測定方法を提供する。【解決手段】 白色光を測定対象物(透明薄膜)に照射し、その反射光をカラーCCDカメラで撮像する。撮像されたカラー画像は、画像入力部11により赤色画像、緑色画像、青色画像に分解され、さらに正規化処理部12により最大輝度値が1になるように正規化される。画像間減算処理部13は、正規化された赤色画像と緑色画像と青色画像間で輝度値の減算処理を行い、赤色画像と緑色画像との差分画像などを生成する。膜厚計測部15は、この差分画像に基づいて測定対象物の膜厚を推定する。また、必要に応じて、詳細膜厚計測部16は当該推定膜厚を参照しながら、正規化された赤色画像等から測定対象物の膜厚を算出する。

Claim (excerpt)：

複数の波長を含む光を測定対象とする膜に照射し、当該膜で反射して戻ってきた光を受光して各波長毎の受光強度の分布を取得した後、各波長の光の受光強度分布どうしの差分を得て、当該差分に基づいて前記膜の膜厚を判定することを特徴とする膜厚測定方法。

FI (2)：

G01B 11/06 Z ,  G01B 11/06 H

F-Term (15)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG03 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42