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J-GLOBAL ID：200903089652853451

リッジ型光導波路の製造方法

Inventor： 小泉 等 ,  小林 直之
Applicant, Patent owner： 株式会社日本製鋼所
Agent (1)： 横井 幸喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993130012
Publication number (International publication number)：1994317718
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 リッジ型光導波路を効率よく製造する。【構成】 基板上に高屈折率層を形成した材料1の表面に、所定の間隔を有する2本の溝3,3を切断具2で切削して、リッジ4を形成する。【効果】 機械的な切削を行なうことにより、形状精度の優れたリッジを基板上に効率よく形成でき、作業効率が飛躍的に向上する。

Claim (excerpt)：

基板上に高屈折率層を形成し、この高屈折率層の表面に、互いに所定の間隔を有する2本の溝を切断具で切削して、基板上にリッジを形成することを特徴とするリッジ型光導波路の製造方法