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J-GLOBAL ID：200903089673432804
導電性を有する多層反射防止膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994039969
Publication number (International publication number)：1994316442
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：
【要約】【構成】ガラス基板側からλo /4の第1層膜、λ0 /4の第2層膜を順次積層した多層反射防止膜において、前記第2層膜は高屈折率膜と低屈折率膜の組合わせからなる積層膜であり、かつ、ガラス基板側から最も外側の膜は導電性を有する膜である導電性を有する多層反射防止膜。【効果】透過率が高く、生産性の高い常圧CVD法で製膜可能であり、タッチパネルなどに有用である。
Claim (excerpt)：
ガラス基板側からλo /4の第1層膜、λ0 /4の第2層膜を順次積層した多層反射防止膜において、前記第2層膜は高屈折率膜と低屈折率膜の組合わせからなる積層膜であり、かつ、ガラス基板側から最も外側の膜は導電性を有する膜であることを特徴とする導電性を有する多層反射防止膜。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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