Pat
J-GLOBAL ID：200903089692800776
偏芯量測定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
川野 宏
, 緒方 保人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006157198
Publication number (International publication number)：2007327771
Application date： Jun. 06, 2006
Publication date： Dec. 20, 2007
Summary：
【課題】オートコリメーション法を適用した偏芯測定手法において、簡易な構成により測定精度の大幅な向上を図る。【解決手段】被検レンズを所定の回転角度位置に設定し(S3)、レチクルの像縦線と交差する横線P1、P2を設定し(S4)、レチクルの像横線と交差する縦線Q1、Q2を設定し(S5)、横線P1、P2上における光強度ピーク位置A点、B点、および縦線Q1、Q2上における光強度ピーク位置C点、D点を特定し(S6、7)、A点、B点を結んだ十字縦線、およびC点、D点を結んだ十字横線を決定する(S8、9)。この後、十字縦線と十字横線の交点を特定し(S10)、交点を中心とした正方形領域内の光強度重心位置を特定し、これを十字形状のレチクルの像の中心点Rとする(S11)。複数の回転位置における各中心点Rに基づき像中心軌跡円を求め(S14)、この像中心軌跡円の半径を被検面の偏芯量Ecとする(S15)。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
所定の軸を中心として回転可能な基台に被検光学素子を設置し、該設置された被検光学素子の被検面に対して光源からの光を所定形状の指標を含む測定用光学系を介して照射し、該被検面からの反射光または透過光を結像面上に導くとともに該基台に設置された被検光学素子を、前記所定の軸を中心として回転せしめ、該反射光または該透過光により該結像面上に形成された前記指標の像の移動軌跡を観察して前記被検面の偏芯量を測定する偏芯量測定方法において、
前記所定形状の指標は、略十字形状のレチクルとし、
前記被検光学素子を前記基台に設置し、
前記測定用光学系と前記被検面とを該測定用光学系の光軸方向に相対的に移動して、前記被検面からの反射光または透過光が前記結像面上に結像されるように調整し、
前記結像面上に結像された略十字形状の像に対して、互いに略同一方向に延びる2本の第1線上における光強度分布を求めて、該第1線の各線上における最大強度位置をA点およびB点とするとともに、該2本の第1線と交差し、互いに略同一方向に延びる2本の第2線上における光強度分布を求めて、該第2線の各線上における最大強度位置をC点およびD点とし、
次に、前記A点と前記B点を結んだ直線を第3線とするとともに、前記C点と前記D点を結んだ直線を第4線とし、
前記第3線と前記第4線の交点を特定し、
この交点に基づいて前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
この後、前記基台を所定角度だけ回転させることで前記被検光学素子を前記軸を中心として回転せしめるたびに、その回転位置における前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
続いて、決定されたこれら複数の中心点Rに基づき中心点軌跡円を特定し、
該中心点軌跡円の径を求め、
この求めた径に基づいて、前記被検面の偏芯量を求めることを特徴とする偏芯量測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B11/27 H
, G01M11/00 L
2F065AA17
, 2F065AA26
, 2F065BB22
, 2F065CC22
, 2F065FF42
, 2F065GG01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL28
, 2F065PP13
, 2F065QQ18
, 2F065QQ31
, 2G086FF04
Cited by applicant (6)
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