精密加工装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：田中宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000152833
Publication number (International publication number)：2001328065
Application date： May. 24, 2000
Publication date： Nov. 27, 2001
Summary：

【要約】【目的】本発明は、例えばシリコンウェハ等、極めて精密な形状精度と仕上面粗さを必要とする物品の加工を行なうための装置に係わるものである。【構成】微細送りプレートおよび姿勢制御プレートよりなる変位テーブルと、精密移動テーブルとを有し、前記変位テーブルあるいは前記精密移動テーブルのいずれか一方の上には砥石とその回転装置が載置され、他の一方にはワークとその回転装置が載置され、砥石軸とワーク軸とは水平方向に対抗するように配置されてなり、砥石とワークとの位置決めおよび微細送りを前記精密移動テーブルの移動と前記変位テーブルの変位とで行ない、砥石軸とワーク軸とのズレの補正を前記変位テーブルに具備された姿勢制御機構を作動させて行なうことを特徴とする精密加工装置である。

Claim (excerpt)：

微細送りプレートおよび姿勢制御プレートよりなる変位テーブルと、精密移動テーブルとを有し、前記変位テーブルあるいは前記精密移動テーブルのいずれか一方の上には砥石とその回転装置が載置され、他の一方にはワークとその回転装置が載置され、砥石軸とワーク軸とは水平方向に対抗するように配置されてなり、砥石とワークとの位置決めおよび微細送りを前記精密移動テーブルの移動と前記変位テーブルの変位とで行ない、砥石軸とワーク軸とのズレの補正を前記変位テーブルに具備された姿勢制御機構を作動させて行なうことを特徴とする精密加工装置。

IPC (4)：

B24B 41/047 , B24B 7/02 , B24B 41/06 , B24B 49/10

FI (4)：

B24B 41/047 , B24B 7/02 , B24B 41/06 L , B24B 49/10

F-Term (15)：

3C034BB32 , 3C034BB37 , 3C034BB42 , 3C034CB01 , 3C034CB08 , 3C034DD09 , 3C034DD10 , 3C043BA02 , 3C043BA08 , 3C043BA09 , 3C043BA12 , 3C043BA16 , 3C043CC04 , 3C043DD05 , 3C043DD06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

工作機械および工具の姿勢制御システム並びに研削システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121960 Applicant：畑村洋太郎
精密平面加工機械
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-315259 Applicant：茨城県
特開昭62-124842

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