共焦点分光システムおよび分光方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998327190
Publication number (International publication number)：1999249023
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、迅速にデータを得ることのでき、高い解像度を有する分光映像システムを提供すること目的とする。【解決手段】光源110 と、照明開口を形成し、検査対象物の位置を共役するために予め定められた照明パターンを導く光変調手段120 と、検出開口と分光分散素子と検出器カメラ156 とを備えた解析手段150 とを備え、照明および検出開口は共役平面に配置され、光変調手段120 は光変調素子の2次元アレイから構成され、それら2次元アレイを構成する素子のグループは照明パターンにしたがって照明開口を形成するように配置され、その照明パターンが対象物の共役位置を時間に依存して変化するように光変調手段120 が制御可能に構成されていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

光源手段と、照明開口を形成し検査している対象物の位置を共役するために予め定められた照明パターンを導くように構成されている光変調手段と、検出開口と分光分散素子と検出器カメラとを備えている解析手段とを具備し、照明および検出開口は共役光学平面に配置されている共焦点分光映像システムにおいて、光変調手段は光変調素子の2次元アレイから構成され、それら2次元アレイを構成する素子のグループは照明パターンにしたがって照明開口を形成するように配置され、その照明パターンが対象物の共役位置を時間に依存して変化するように光変調手段が制御可能に構成されていることを特徴とする共焦点分光映像システム。

IPC (5)：

G02B 21/00 , G01J 3/28 , G01N 21/27 , G01N 21/64 , G01N 21/65

FI (5)：

G02B 21/00 , G01J 3/28 , G01N 21/27 E , G01N 21/64 E , G01N 21/65

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-134608
共焦点用光スキャナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-015410 Applicant：横河電機株式会社
特開平4-265918

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