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J-GLOBAL ID：200903089782848395

液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： 山内 哲也 ,  齋藤 秀男
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997069439
Publication number (International publication number)：1998268343
Application date： Mar. 24, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 液晶表示装置の大型化、高精細化に伴うゲート配線およびゲート電極の段差の平坦化を、実現できる液晶表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁性基板1上にレジスト膜2を形成し、ゲート配線およびゲート電極のパターンのレジスト膜2を除去する。レジスト膜2のパターンを用いて、ウェットエッチングによって絶縁性基板1に溝3を形成し、レジスト膜2を残したまま金属膜4をスパッタリングによって堆積し、レジスト膜2を剥離することで金属膜4をリフトオフして、ゲート配線およびゲート電極5が絶縁性基板1に埋め込まれた状態とすることで、ゲート配線およびゲート電極5の平坦化を行う。溝3とゲート配線およびゲート電極5との間に絶縁性の液状材料を塗布して焼成し、平坦化膜6を形成し、周知の方法を用いて、TFTアレイ基板を形成し、対向電極等を形成した対向基板と貼り合わせ、この基板間に液晶を封入する。

Claim (excerpt)：

ゲート配線およびゲート電極が絶縁性基板に設けられた溝内に形成されたTFTアレイ基板と対向基板との間に、液晶が封入されてなる液晶表示装置において、前記ゲート配線およびゲート電極の側部と前記溝の側壁との隙間に、平坦化膜が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505

FI (2)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505