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J-GLOBAL ID：200903089784424428

固体撮像素子

Inventor： 草野 郁
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995088285
Publication number (International publication number)：1996288489
Application date： Apr. 13, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 転送レジスタを構成する複数枚の転送電極におけるオーバーラップ部分の縮小化を図って、受光部への影響を少なくし、受光部上に形成される開口の形状歪みを抑える。【構成】 電荷蓄積期間に被写体からの入射光を光量に応じた量の信号電荷に光電変換する受光部1と、電荷読出し期間に受光部1から読み出された信号電荷を電荷転送期間に出力側に順次転送する転送チャネル領域24を有し、この転送チャネル領域24上に、該転送チャネル領域に電位変化を生じさせるための第1〜第4の転送電極11A〜11Dが形成されたイメージセンサにおいて、1層目の電極層にて構成される第1及び第3の転送電極11A及び11Cの各電極部11Ab及び11Cbの線幅t1を、2層目の電極層にて構成される第2及び第4の転送電極11B及び11Dの各電極部11Bb及び11Dbの線幅t2よりも狭くして構成する。

Claim (excerpt)：

電荷蓄積期間に被写体からの入射光を光量に応じた量の信号電荷に光電変換する受光部と、電荷読出し期間に上記受光部から読み出された信号電荷を電荷転送期間に出力側に順次転送する転送領域を有し、上記転送領域上に、該転送領域に電位変化を生じさせるための複数枚の転送電極が形成され、上記転送電極の幅のうち、少なくともオーバーラップ部分の幅が小となされていることを特徴とする固体撮像素子。