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J-GLOBAL ID：200903089786160592
基板支持具およびこれを用いた基板の異物除去方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994182861
Publication number (International publication number)：1996031915
Application date： Jul. 11, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 粘着テープを用いて基板の異物を除去する際に使用するハンドリング用の基板支持具を構成するとともに、基板支持具の表裏から貼付けられた粘着テープ同志の接着が生じることがなく、しかも、基板の周縁まで確実に粘着テープを貼付けることができるものにする。【構成】 基板Wの外形より僅かに大きい形状の基板収納孔2を有するとともに、基板厚さと同等、あるいは、僅かに薄い硬質の板材で基板支持具1を構成し、かつ、一端が前記基板収納孔2に連通するとともに、他端が行き止まり状となった溝4を基板支持具1に形成する。
Claim (excerpt)：
基板厚さと同等以下の薄い板材に基板の外形より僅かに大きい形状の基板収納孔を形成してあることを特徴とする基板支持具。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
