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J-GLOBAL ID：200903089809422980
流量計
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 正康 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994196526
Publication number (International publication number)：1996062004
Application date： Aug. 22, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 安価で、保守が容易な流量計を提供する。【構成】 前記測定管に設けられた切欠部と、該切欠部を覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第1圧力センサと、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第2圧力センサと、前記第1,第2圧力センサの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共に該基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコン樹脂体と前記第1,第2圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特徴とする流量計である。
Claim (excerpt)：
測定流体が流れる測定管の流路に設けられた絞り部と、前記測定管に設けられ該絞り部における前記測定流体の圧力を測定する第1圧力センサと、前記測定管に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の圧力を測定する第2圧力センサとを具備する流量計において、前記測定管に設けられた切欠部と、該切欠部を覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第1圧力センサと、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第2圧力センサと、前記第1,第2圧力センサの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共に該基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコン樹脂体と前記第1,第2圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特徴とする流量計。
IPC (2)：
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