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J-GLOBAL ID：200903089810060383

昇温脱離分析装置とその方法

Inventor： 有井 忠 ,  高田 義博 ,  中村 栄作
Applicant, Patent owner： 理学電機株式会社
Agent (1)： 山本 寿武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000370577
Publication number (International publication number)：2002174606
Application date： Dec. 05, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 試料から脱離する微量のガスを迅速かつ高精度に測定する。【解決手段】 試料Sを配置する試料室1と、この試料室1に配置された試料Sを加熱する赤外線加熱炉4(加熱手段)と、加熱により試料Sから脱離したガスを所定の測定部2で測定する質量分析計5(測定手段)と、測定部2を真空排気するターボ分子ポンプ6と、このターボ分子ポンプ6の排気速度を任意に可変制御するコントローラ13(制御手段)とを備える。コントローラ13は、少なくとも質量分析計5による測定動作開始前にターボ分子ポンプ6を高速運転させて測定部2を真空排気するとともに、質量分析計5による測定動作中は、測定動作開始前の高速運転時よりも遅い排気速度でターボ分子ポンプ6を運転させる。

Claim (excerpt)：

試料を配置する試料室と、この試料室に配置された試料を加熱する加熱手段と、加熱により試料から脱離したガスを所定の測定部で測定する測定手段と、前記測定部を真空排気するターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプの排気速度を任意に可変制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする昇温脱離分析装置。

IPC (2)：

G01N 25/00 ,  G01N 27/62

FI (2)：

G01N 25/00 A ,  G01N 27/62 F

F-Term (6)：

2G040AA02 ,  2G040BA08 ,  2G040BA25 ,  2G040BB01 ,  2G040CA22 ,  2G040EA06