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J-GLOBAL ID：200903089822053722

モータ駆動装置、ステージ装置、およびそれを備えた露光装置

Inventor： 本告 龍造
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002076704
Publication number (International publication number)：2003284388
Application date： Mar. 19, 2002
Publication date： Oct. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 駆動対象のリニアモータを確実に保護できるモータ駆動装置、ステージ装置、およびそれを備えた露光装置を提供する。【解決手段】 各推力の発生方向が平行な複数のリニアモータ31R,31Lを有すると共に各リニアモータの可動子が各々相互に束縛されたモータ部26の各リニアモータを同時に駆動するモータ駆動装置25において、各リニアモータに対し、各推力の発生に必要な励磁電流を出力する出力部33R,33Lと、励磁電流に応じて各リニアモータが発生する各推力のバランスを監視する監視部34R,34Lと、監視部による監視の結果に基づいて、各推力のバランスが正常か異常かを判定する判定部35とを備える。

Claim (excerpt)：

各推力の発生方向が略平行な複数のリニアモータを有すると共に前記各リニアモータの可動子が各々相互に束縛されたモータ部の前記各リニアモータを同時に駆動するモータ駆動装置において、前記各リニアモータに対し、前記各推力の発生に必要な励磁電流を出力する各出力部と、前記励磁電流に応じて前記各リニアモータが発生する各推力のバランスを監視する監視部と、前記監視部による監視の結果に基づいて、前記各推力のバランスが正常か異常かを判定する判定部とを備えたことを特徴とするモータ駆動装置。

IPC (4)：

H02P 7/74 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02P 7/00 101

FI (5)：

H02P 7/74 J ,  H02P 7/74 D ,  H01L 21/68 K ,  H02P 7/00 101 Z ,  H01L 21/30 503 A

F-Term (43)：

5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA28 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07 ,  5F046DB10 ,  5F046DB14 ,  5H540AA10 ,  5H540BA01 ,  5H540BB06 ,  5H540BB09 ,  5H540EE02 ,  5H540FC02 ,  5H540GG01 ,  5H540GG07 ,  5H572AA20 ,  5H572BB07 ,  5H572BB10 ,  5H572CC05 ,  5H572DD02 ,  5H572DD10 ,  5H572EE03 ,  5H572HB09 ,  5H572HC07 ,  5H572JJ03 ,  5H572JJ16 ,  5H572KK04 ,  5H572LL22 ,  5H572LL50 ,  5H572MM01 ,  5H572MM09 ,  5H572PP02