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J-GLOBAL ID：200903089830805172
梁およびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993009467
Publication number (International publication number)：1994224449
Application date： Jan. 22, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 途中工程のフォトリソグラフィ工程に支障をきたさず、機械的に反り量を与える必要がなく、かつ大量生産可能な制御された反り量を有するカンチレバーを得る。【構成】 マイクロマシンに用いられ、かつ一方端部が微小変位可能で他方端部が固定されたカンチレバーにおいて、少なくとも一方端部がシリコン基板1と、そのシリコン基板1の上に形成されたニッケル-鉄メッキ膜3とを有している。
Claim (excerpt)：
微小な機械的動作を行なう装置に用いられ、かつ一方端部が微小変位可能で他方端部が固定された梁において、少なくとも前記一方端部が基板と、その基板の上に形成されたニッケルと鉄とを主成分とするメッキ層とを含むことを特徴とする、梁。
IPC (4)：
H01L 29/84
, C25D 7/00
, G01P 15/00
, C25D 3/56
