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J-GLOBAL ID：200903089840381494

パルス電子ビーム伝搬装置

Inventor： 千林 暁 ,  加藤 茂 ,  内藤 健太
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 中沢 謹之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993278807
Publication number (International publication number)：1995105890
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 パルス電子ビームを、真空中のビーム伝搬領域中に長距離にわたって伝搬させるためのビームガイドを備えた場合でも、ビーム電流量の減少の回避および、伝搬領域中での電子ビームの分布の均一化を図る。【構成】 パルス電子ビーム6の伝搬領域の周囲を囲むように、絶縁物からなるビームガイド10を設ける。パルス電子ビームは、その伝搬領域中においてビームガイドに衝突し、プラズマを発生する。伝搬領域はビームガイドにより囲まれているので、電子ビームは、ビームガイドになんら邪魔されることなく、伝搬領域中を伝搬していく。そのためビーム電流量が減少することはないし、また伝搬領域中の電子ビームも均一化される。

Claim (excerpt)：

真空中のパルス電子ビームの伝搬領域に、前記パルス電子ビームの衝突により前記パルス電子ビームを伝搬するプラズマを発生する絶縁物よりなるビームガイドを、前記伝搬領域の周囲を囲むように配置してなるパルス電子ビーム伝搬装置。

IPC (2)：

H01J 37/06 ,  H01J 27/20