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J-GLOBAL ID：200903089843660319
円筒体の表面欠陥検査方法およびその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小野寺 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992270227
Publication number (International publication number)：1994118007
Application date： Oct. 08, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 低光沢な表面をもつ円筒体の極く緩やかな凹凸等の表面欠陥を自動的に検査する。【構成】 円筒体1の低光沢な表面2の軸心方向に明部11と暗部12および明部11と暗部12との間に明暗部13の繰り返しパターンをもつスリット光像10を形成し、前記形成されたスリット光像10の明暗部13において表面欠陥による反射光の顕在化を検出する。【効果】 スリット光像の繰り返しパターンを軸方向に移動させ、円筒体を回転させることで円筒体の表面全域の表面欠陥が自動的に検出される。
Claim (excerpt)：
低光沢な表面をもつ円筒体の前記表面に、前記円筒体の軸方向に沿って明部と暗部の繰り返しパターンをもつスリット光像を形成し、前記低光沢な表面に存在する表面欠陥による前記スリット光像の明部と暗部との中間にある明暗部領域の反射光レベルの変化により前記表面欠陥を検知する方法としたことを特徴とする円筒体の表面欠陥検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03G 15/20 103
