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J-GLOBAL ID：200903089875078158

光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

Inventor： 豊田 光紀
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2004016247
Publication number (International publication number)：WO2005050718
Application date： Nov. 02, 2004
Publication date： Jun. 02, 2005
Summary：

光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置。本発明の照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成するための第1基本素子(50A)と、第2円弧状領域分布を形成するための第2基本素子(50B)と、第3円弧状領域分布を形成するための第3基本素子(50C)と、第4円弧状領域分布を形成するための第4基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。

Claim (excerpt)：

入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子において、 旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第1領域分布を形成するための第1基本素子と、 旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第2領域分布を形成するための第2基本素子とを備え、 前記第1基本素子と前記第2基本素子とは、光の透過方向に沿った厚さが互いに異なることを特徴とする光束変換素子。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/30 ,  G02B 27/09

FI (6)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 527 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  G02B27/00 E

F-Term (23)：

2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA50 ,  2H049AA55 ,  2H049AA64 ,  2H049BA06 ,  2H049BA07 ,  2H049BA08 ,  2H049BA12 ,  2H049BB03 ,  2H049BB61 ,  2H049BC21 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB10 ,  5F046CB11 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB15 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特許第3246615号公報