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J-GLOBAL ID：200903089906057480

基板の分割装置

Inventor： 井上 胤一 ,  家本 貴生 ,  岡本 康生 ,  久保 秀巳
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 樋口 豊治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991274250
Publication number (International publication number)：1993111900
Application date： Oct. 22, 1991
Publication date： May. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 より高速な基板分割が可能であるとともに、分割用ローラの保全コストをより低減することができる基板分割装置を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも2個のローラ間に無端状の搬送ベルトを巻き掛けることによって基板搬送路を形成する一方、上記基板搬送路の前端に、バックアップローラを配置し、さらに上記搬送路の途中適部の上面側に配置したローラと上記バックアップローラとの間に無端状の押さえベルトを巻き掛け、搬送ベルトで搬送される基板が、搬送ベルトと押さえベルトに挟まれながら2つの分割用ローラ間に送り込まれるようになしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

少なくとも2個のローラ間に無端状の搬送ベルトを巻き掛けることにより、水平ないし略水平状の基板搬送路を形成する一方、上記基板搬送路の搬送方向前端に位置して上記搬送ベルトが巻き掛かるローラを分割ローラとして機能させるべく、このローラの上方にバックアップローラを配置し、かつ、上記搬送路の途中適部の上面側に配置したローラと上記バックアップローラとの間に、無端状の押さえベルトを巻き掛けたことを特徴とする、基板の分割装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭53-148787
  
• 特開平1-148512
  
• 特公昭63-032602