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J-GLOBAL ID：200903089920204500
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104609
Publication number (International publication number)：1993299015
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】単層膜からなる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを、優れた再現性をもって安定的に且つ簡易に作製することを目的とする。【構成】Si基板11にエッチング処理によりレプリカ穴13を形成し、この基板を熱酸化処理し、レプリカ穴13の内面上に酸化膜14を形成する。次に、この酸化膜14上にレジストパターン16を形成し、当該パターンをマスクとして、基板11に上記熱酸化処理時に不可避的に形成された酸化膜15をエッチング処理によって除去する。続いて、レプリカ穴13を含む基板上の領域に窒化シリコン膜17を形成し、これをカンチレバーの形状にパターニングする。この後、基板11を除去し、レバー部20および探針部21を具備するカンチレバー22を得る。
Claim (excerpt)：
レバー部及びその自由端側に配設された探針部を具備する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製方法であって、半導体基板にエッチング処理により前記探針部用のレプリカ穴を形成する工程と、前記半導体基板を熱酸化処理し、レプリカ穴の内面上に酸化膜を形成する工程と、前記レプリカ穴内面の酸化膜上にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして、前記熱酸化処理時に半導体基板上に不可避的に形成された酸化膜をエッチング処理によって除去する工程と、前記レプリカ穴を含む基板上の領域に、前記レバー部及び前記探針部の母材料を堆積させる工程と、前記母材料を所定の形状にパターニングする工程と、前記基板を除去する工程とを具備する方法。
IPC (5)：
H01J 9/14
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
, H01L 21/66
