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J-GLOBAL ID：200903089953060546

精密1段6自由度ステージ

Inventor： 長野 寛之
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218367
Publication number (International publication number)：1993057550
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 1段で6自由度の位置決めができ、ステージの小型化が図れるという優れた特性を持つ精密1段6自由度ステージを提供することを目的とする。【構成】 ステージベース1と、ステージベース1上にX方向にN,Sを等間隔で交互に配置されたマグネット2Xと、ステージベース1上にY方向にN,Sを等間隔で交互に配置されたマグネット2Yと、ステージベース上で磁気力でもって浮上し、XY方向に移動可能なステージ3と、ステージ3に固定された3個以上の磁気水平フォーサ4Hと、ステージに固定されステージを浮上させる3個以上の磁気垂直フォーサ4Vと、ステージのXYθ方向の位置を計測する手段5と、ステージと前記ステージベースのギャップを測定する3個以上のギャップセンサー7より構成されており、精密な位置決めが可能なステージが得られる。

Claim (excerpt)：

ステージベースと、前記ステージベース上にX方向にN,Sを等間隔で交互に配置されたマグネットと、前記ステージベース上に、Y方向にN,Sを等間隔で交互に配置されたマグネットと、前記ステージベース上で磁気力でもって浮上し、XY方向に移動可能なステージと、前記ステージに固定された3個以上の磁気水平フォーサーと、前記ステージに固定され前記ステージを浮上させる3個以上の磁気垂直フォーサと、前記ステージのXYθ方向の位置を計測する手段と、前記ステージと前記ステージベースのギャップを測定する3個以上のギャップセンサーよりなる精密1段6自由度ステージ。

IPC (5)：

B23Q 1/02 ,  B23Q 5/28 ,  B23Q 17/24 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68